瑞典Excillum公司高分辨納米管微焦斑光源（Nanotube）
Excillum納米管N3基于先進(jìn)的電子光學(xué)和最新的鎢-金剛石透射靶技術(shù)，自動(dòng)電子束聚焦和散光校正，確保每一天、每一次，盡可能獲得最小的、正圓形光斑。 同時(shí)，納米管N3具有內(nèi)部測量及即時(shí)反饋當(dāng)前光斑尺寸大小的獨(dú)特功能。先進(jìn)的冷卻和散熱設(shè)計(jì)保證了焦點(diǎn)在長時(shí)間曝光下的穩(wěn)定性。真正實(shí)現(xiàn)了無與倫比的150nm線性和空間分辨率。
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